【同步數位課程】精密定位與AOI對位技術實務

上課地址:工業技術研究院 台北學習中心

時數:12

起迄日期:2021-08-12~2021-08-13

聯絡資訊:李晨安/23701111#316 or 827316

報名截止日:2021-08-11

課程類別:人才培訓(課程)

活動代碼:2321050006

課程介紹

台灣半導體產業年產值約新台幣1.8兆元;而2019年國內半導體產業設備採購需求5000億,其中前段製程設備比重佔70%,而向國內採購之設備僅佔15%,其中採購國內前段製程設備更僅有7%2018年台灣工具機製造業產值達約9500億,平均毛利率15%;相對于半導體設備產業平均毛利率40-50%,前段製程高階機台毛利率甚至高于70%-80%,兩者差異甚大。

次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

 

課 程 時 間

     

8/12

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09:30-16:30

(1)     精密定位與AOI對位技術需求

(2)     定位精度與整定時間  

(3)     振動等級與振動抑制需求

(4)     微米級設備AOI對位要項

8/13

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09:30-16:30

(1)     精密設備組裝技術與限制

(2)     對位技術與6自由度關係

(3)     前段製程設備精密定位技術

(4)     後段製程設備對位技術

※ 因不可預測之突發因素,主辦單位得保留課程之變更權利。

 

■課程日期:110812()813()09:30-16:30,每天6小時,2天共12小時。

 

■上課地點:工研院產業學院 台北學習中心。實際地點依上課通知為準!!

 

■課程聯絡人: (02)2370-1111 分機316李小姐、分機309徐小姐。

因應COVID-19 疫情考量,本課程同時規劃「線上同步數位學習」形式,讓學員能在所在地進行線上學習,防疫不停學,隨時隨地學習、增進專業能力!


★本課程歡迎企業包班★

講師簡介-陳講師(設計實務專家)

    歷:

半導體設備廠資深技術副理、工研院經理

 

    長:

半導體設備設計、工具機設計、機器人設計

 

著作與證照:

1. 半導體設備之精密對位技術

2. 多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術

3. 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

4. 鏡面微結構超精密加工設備技術

5. 智慧結構多軸次微米主動抑振模組技術

課程費用資訊

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方案

一般報名

(原價)

早鳥優惠價

需課前10日報名且繳費

團體優惠價

同步線上課程優惠價

(個人&團體報名皆適用)

價格

8,000/

7,200/

7,200/

6,500/

附件

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