良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環，隨著元件尺寸不斷縮小，使用材料多元化，檢測技術日顯重要，電漿量測技術如何減少不良率產生？


良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環，隨著元件尺寸不斷縮小，使用材料多元化，檢測技術日顯重要，電漿量測技術如何減少不良率產生？

本期機械工業雜誌10月號「數位製造與檢測技術專輯」，邀請工研院機械與機電系統研究所先進機械技術組黃萌祺副組長與張家豪資深研究員，一同探討「電漿量測技術」。

直播時間|2021年9月28日13:30
講師:
鄭詠仁 | 工研院機械與機電系統研究所 組長
劉永隆 | 工研院機械與機電系統研究所 工程師

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