現今的高階半導體或光電等元件都朝向輕薄且精密,薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟,當薄膜應力過大時,可能會使得元件產生劇烈變形而導致結構損壞,因此,薄膜應力量測技術日顯重要,也是多數的半導體廠商想要克服的問題之一。
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【直播】就是那道光 薄膜應力與光彈應力智慧檢測技術



現今的高階半導體或光電等元件都朝向輕薄且精密,薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟,當薄膜應力過大時,可能會使得元件產生劇烈變形而導致結構損壞,因此,薄膜應力量測技術日顯重要,也是多數的半導體廠商想要克服的問題之一。

這些問題在本期機械工業雜誌10月號「先進製造與量測技術專輯」裡,邀請工研院機械所黃萌祺副組長與工研院量測中心陳柏宇工程師,一同聊聊薄膜應力檢測的重要性與困難點,以及光彈應力智慧檢測技術於碳化矽量測實例介紹,機會千載難逢,千萬別錯過!

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