學員能夠瞭解微影相關知識及應用。
微米微影製程, 次微米製程, 奈米微影製製程, EUV, 3奈米
課程代碼 2321120067 Loading...

奈米微影技術 - 課程總覽 - 產業學習網

Loading...

課程型態/ 混成(實體+線上同步)
上課地址/ 光復院區
時數/ 12小時
起迄日期/ 2022/04/08~2022/04/22
聯絡資訊/ 黃文彥 03-5732901
報名截止日/ 2022/04/06
標題的icon

課程介紹

微影製程在半導體製程中,佔了約4成或更高些的量產流程。本課程以次微米微影製程為序幕,再循序漸進介紹奈米微影製程的流程與量產考量、極紫外光(EUV)機台的設計與應用。 在微影製程中,主要的三大製程流程:光阻塗佈、對準與曝光、光阻顯影。其每個環節都有其困難度,尤其在量產時,如何保有晶圓產品上的圖案,其均勻性與穩定性,皆在可控制的範圍內,著實不易,且隨著每個先進製程的微縮,還需保有此等良好特質,更是一大挑戰。 在半導體製程進入奈米等級,考量的問題比次微米製程,所需考量的問題更多項而且更複雜,例如,微影光源的採用與設計、配合不同光源波長所需的光阻調配、量產自動化考量、光罩的設計與材料選取、軟體模擬的微影最佳化、成本管控…等皆是計畫成功與否的重要考量。
標題的icon

課程特色/目標

  1. 透過微影相關知識介紹,學員能將知識應用於半導體製程、先進3D IC封裝或PCB板製程連結至3D 系統封裝、TFT面板的微影製程。
  2. 除了介紹微影製程外,也探討 
  • 微影製程在量產時,可能遇到的瓶頸與不同製程模組搭配時,遇到的整合問題
  • 晶圓上的圖案,在電性量測或光學量測的技術考量 
  • 參數統計後的分析、與可靠性相關議題的連動性。
標題的icon

課程目標

學員能夠瞭解微影相關知識及應用。
標題的icon

課程對象

半導體、光電、機械等產業研發、製程、設備工程師
標題的icon

課程大綱

  1. 微影簡介
  2. 微米微影製程
  3. 次微米製程 
  4. 90至28奈米微影製程 
  5. EUV微影製程
  6. 3奈米製程下之微影趨勢
  7. 晶圓圖案之統計分析與監控設計
  8. 微影圖案與可靠性
  9. 總結
標題的icon

講師簡介

王 教授
  • 明新科技大學 電子工程學系 教授
  • 學歷:美國德州農工大學電機工程博士
  • 經歷:
    • 台北科技大學機電整合研究所 兼任教授
    • 大葉大學電機系專任教授
    • 聯華電子技術開發處元件部 經理 
    • 世界先進半導體技術開發處元件部資深工程師
    • 工研院/光電所 光電工程師
標題的icon

開課資訊

  • 主辦單位:工研院產業學院新竹學習中心(光復院區)
  • 舉辦地點:工研院 光復院區訓練教室(新竹市光復路2段321號) ※ 實際地點依上課通知為準!
  • 舉辦日期:111年4月8、22日(五)09:00 – 16:00,共計12小時
標題的icon

課程費用

課程方案

費用

全程每人

8,400

111/3/25() 報名全程享早鳥優惠價,每人

7,100

2()以上團報優惠價,每人

7,500

會員優惠價,每人

7,900

工研人享優惠價

7,500

1.        免費加入可享課程優惠。

2.        團報優惠

(1)   團報優惠可與早優惠一併使用
(2)   團報學員,每一位學員必須使用個別帳號完成線上報名,並於備註欄註記「與xx一起團報」。
標題的icon

報名方式

  1. 傳真報名:請將報名表及繳費收據,傳真至:(03)5745074 黃小姐 或 洽 03-5732901 黃小姐 TristaHuang@itri.org.tw
  2. 線上報名:請上產業學院學習服務網
標題的icon

注意事項

  1. 為確保您的上課權益,報名後若未收到任何回覆,敬請來電洽詢方完成報名。
  2. 因課前教材、講義及餐點之準備及需為您進行退款相關事宜,若您不克前來,請於開課三日前告知,以利行政作業進行並共同愛護資源。
  3. 若原報名者因故不克參加,但欲更換他人參加,敬請於開課前二日通知。
  4. 學員於開訓前退訓者,將依其申請退還所繳上課費用90%,另於培訓期間若因個人因素無法繼續參與課程,將依上課未逾總時數1/3,退還所繳上課費用之50%,上課逾總時數1/3,則不退費。
標題的icon

相關課程

Loading...
標題的icon

推薦課程

Loading...
標題的icon

相關文章

Loading...
網頁Top按鈕 (網頁回到頂端)