課程介紹
近年來,隨著半導體製程的微縮,相對應的不純物檢測技術也愈顯得重要,原物料的檢測技術對於製程良率而言,依然扮演著重要的角色。在技術開發方面,除了偵測極限不斷地精進之外,不純物的種類也是重點之一,其包括陰/陽離子、有機/無機分子、particle等等。
課程對象
歡迎對半導體量測技術有興趣的各領域人才參與本次推廣說明會。
課程大綱
本次的推廣說明會將以半導體原物料不純物檢測技術為核心,並邀請相關業界專業講師以及本研究室研究員進行演講,介紹各種不同類型之不純物檢測技術。
2022半導體原物料不純物檢測技術推廣說明會,將提供講者與聽眾交流的平台;歡迎對半導體量測技術有興趣的各領域人才參與本次推廣說明會。
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