近年來,隨著半導體製程的微縮,相對應的不純物檢測技術也愈顯得重要,原物料的檢測技術對於製程良率而言,依然扮演著重要的角色。在技術開發方面,除了偵測極限不斷地精進之外,不純物的種類也是重點之一,其包括陰/陽離子、有機/無機分子、particle等等。
半導體製程, 奈米不純物, 檢測技術
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2022奈米不純物檢測技術推廣說明會(線上直播)(111.10.05) - 課程總覽 - 產業學習網

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課程型態/ 線上同步
上課地址/ 使用webex視訊會議軟體
時數/ 3小時
起迄日期/ 2022/10/05~2022/10/05
聯絡資訊/ 陳秀芸 03-5743706
報名截止日/ 2022/09/30
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課程介紹

近年來,隨著半導體製程的微縮,相對應的不純物檢測技術也愈顯得重要,原物料的檢測技術對於製程良率而言,依然扮演著重要的角色。在技術開發方面,除了偵測極限不斷地精進之外,不純物的種類也是重點之一,其包括陰/陽離子、有機/無機分子、particle等等。
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課程對象

歡迎對半導體量測技術有興趣的各領域人才參與本次推廣說明會。
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課程大綱

本次的推廣說明會將以半導體原物料不純物檢測技術為核心,並邀請相關業界專業講師以及本研究室研究員進行演講,介紹各種不同類型之不純物檢測技術。 2022半導體原物料不純物檢測技術推廣說明會,將提供講者與聽眾交流的平台;歡迎對半導體量測技術有興趣的各領域人才參與本次推廣說明會。
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