課程介紹
本課程分為三個部分講師先簡介動力學對光刻性能的影響,以半導體曝光機台為例,概略地介紹動態特性對曝光機性能的影響。針對不同的機械系統架構,討論其動態行為及對應的控制設計策略。
第二、三部分為詳細介紹動態建模和模式綜合,以及測量設置和設備選擇,實務上在實驗設計、訊號處理、器材選用等等各個面向需要注意的事項。
工業技術研究院於105年起自荷蘭機構High Tech Institute引進Mechatronics Academy學程,並結合台灣在地種子師資,規劃一系列【MA機電整合工程師】培訓班,期盼增加台灣本土機電整合技術人才。
課程特色/目標
•對精密機械系統的架構設計,以及其對動態特性、控制設計的影響有深入了解。
•從理論及實務面上完整地學習到模態分析的實驗設計到實作流程。
課程對象
精密機械之架構設計、控制器設計工程師,以及各應用領域中欲深入了解系統動態、模態分析之研究人員。
講師簡介
陳講師
【現職】半導體業研發工程師
【學歷】台大機械所博士
【經歷】
新代科技股份有限公司 – 課長
新代科技股份有限公司 – 研發工程師
【專長】伺服控制設計、機械系統動態分析
課程大綱
一、動力學對光刻性能的影響
ㆍ動力學對加工性能的影響
ㆍ動力學架構、行為和控制
二、動態建模和模式綜合
ㆍ搭配與非搭配傳感器執行器
ㆍ非最小相位系統及控制設計
ㆍ實驗模態分析
三、測量設置和設備選擇
ㆍ分析流程
ㆍ測量質量和信號處理 - 實用技巧
課程資訊與報名方式
上課日期:隨時上課/購買後即可開通帳號
上課時數:3小時
課程費用:2,100元
上課方式:線上課程
-學員完成報名及繳費後,於3-5個工作天會收到mail發送正式上課通知,提供報名學員觀看網址及帳密權限。
-觀看平台:前往產業學院雲端教室:https://www.eachlearn.org/ 進行閱覽。
-課程期間:從開啟帳密起,即可進行為期3個月的觀看,在3個月內學員可無限次數的自主學習。
注意事項
1.線上課程同一帳號僅限本人使用,不得將參加課程活動之權利轉讓予任何其他第三人。
2.請線上課程學員遵守產業學院雲端教室之隱私聲明相關規範。
學習權益
※本課程為數位課程,無特定觀看日期,待報名且繳款完成後,由課程承辦人確認收款無誤後,將開通帳號以及提供觀看連結予學員,並享有付費期間內無限次數觀看權限。
※為確保學員的上課權益,報名後若未收到任何回覆,敬請主動詢問是否完成報名。
※數位課程同一帳號僅限本人使用,不得將參加課程活動之權利轉讓予他人。
※請報名學員遵守數位學習平台之隱私聲明相關規範。