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       本課程分為三個部分講師先簡介動力學對光刻性能的影響，以半導體曝光機台為例，概略地介紹動態特性對曝光機性能的影響。針對不同的機械系統架構，討論其動態行為及對應的控制設計策略。
       第二、三部分為詳細介紹動態建模和模式綜合，以及測量設置和設備選擇，實務上在實驗設計、訊號處理、器材選用等等各個面向需要注意的事項。
       工業技術研究院於105年起自荷蘭機構High Tech Institute引進Mechatronics Academy學程，並結合台灣在地種子師資，規劃一系列【MA機電整合工程師】培訓班，期盼增加台灣本土機電整合技術人才。

•對精密機械系統的架構設計，以及其對動態特性、控制設計的影響有深入了解。
•從理論及實務面上完整地學習到模態分析的實驗設計到實作流程。

精密機械之架構設計、控制器設計工程師，以及各應用領域中欲深入了解系統動態、模態分析之研究人員。

陳講師
【現職】半導體業研發工程師
【學歷】台大機械所博士
【經歷】
新代科技股份有限公司 – 課長
新代科技股份有限公司 – 研發工程師
【專長】伺服控制設計、機械系統動態分析

一、動力學對光刻性能的影響
ㆍ動力學對加工性能的影響
ㆍ動力學架構、行為和控制

二、動態建模和模式綜合
ㆍ搭配與非搭配傳感器執行器
ㆍ非最小相位系統及控制設計
ㆍ實驗模態分析

三、測量設置和設備選擇
ㆍ分析流程
ㆍ測量質量和信號處理 - 實用技巧

n    課程費用：定價2,700元/人，團報價2,295元/人(同家公司三位以上報名)

n   上課方式：

• 觀看方式：學員完成報名繳費後，將會於3-5個工作天內收到觀看網址及開通權限通知。
• 課程期間：從開通權限當日算起，即可在3個月內無限次數的觀看與自主學習。

n   注意事項

  1.為確保您的上課權益，報名後若未收到任何回覆，敬請來電洽詢方完成報名。

  2.如本課因其他因素造成課程取消，本院將無息辦理退費，敬請見諒！

  3.請收到上課及繳費通知後，於七天內匯款、支票或線上刷卡方式進行繳費

   (發票於課程開通當天開立)，若欲提早取得發票，請洽詢本學習中心。

  4.為尊重講師之智慧財產權益，恕無法提供課程講義電子檔。