本課程分為三個部分講師先簡介動力學對光刻性能的影響，以半導體曝光機台為例，概略地介紹動態特性對曝光機性能的影響。針對不同的機械系統架構，討論其動態行為及對應的控制設計策略。
       第二、三部分為詳細介紹動態建模和模式綜合，以及測量設置和設備選擇，實務上在實驗設計、訊號處理、器材選用等等各個面向需要注意的事項。
       工業技術研究院於105年起自荷蘭機構High Tech Institute引進Mechatronics Academy學程，並結合台灣在地種子師資，規劃一系列【MA機電整合工程師】培訓班，期盼增加台灣本土機電整合技術人才。

•對精密機械系統的架構設計，以及其對動態特性、控制設計的影響有深入了解。
•從理論及實務面上完整地學習到模態分析的實驗設計到實作流程。

精密機械之架構設計、控制器設計工程師，以及各應用領域中欲深入了解系統動態、模態分析之研究人員。

陳講師
【現職】半導體業研發工程師
【學歷】台大機械所博士
【經歷】
新代科技股份有限公司 – 課長
新代科技股份有限公司 – 研發工程師
【專長】伺服控制設計、機械系統動態分析

一、動力學對光刻性能的影響
ㆍ動力學對加工性能的影響
ㆍ動力學架構、行為和控制

二、動態建模和模式綜合
ㆍ搭配與非搭配傳感器執行器
ㆍ非最小相位系統及控制設計
ㆍ實驗模態分析

三、測量設置和設備選擇
ㆍ分析流程
ㆍ測量質量和信號處理 - 實用技巧

n    課程費用：定價2,700元/人，團報價2,295元/人(同家公司三位以上報名)

n   上課方式：

    1.  本課程將於 ITRI College+產業學院雲端教室上線，讓報名成功之學員閱覽數位課程影片，屆時將發送上課通知所有報名學員。

2.  本網站將依您報名登入的 email，發送給您正式上課通知。您可依您登入的帳號、密碼進入 本網站內按學習計畫線上上課。

3.  上課期間：為期3個月之使用期間，3個月期間內無限次觀看。

n   報名費用／重要提醒：

1.  線上課程同㇐帳號僅限本人用，不得將參加課程活動之權利轉讓予任何其他第三人。

2.  請線上課程學員遵守 ITRI College+工研院知識訂閱平台之隱私聲明相關規範，以免觸法。

n   報名方式：

1.至產業學習網（college.itri.org.tw）線上報名

2.E-mail 至 clairechi@itri.org.tw

3.報名洽詢：03-5912892黃小姐

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  2.如本課因其他因素造成課程取消，本院將無息辦理退費，敬請見諒！

  3.請收到上課及繳費通知後，於七天內匯款、支票或線上刷卡方式進行繳費

   (發票於課程開通當天開立)，若欲提早取得發票，請洽詢本學習中心。

  4.為尊重講師之智慧財產權益，恕無法提供課程講義電子檔。

※本課程為數位課程，無特定觀看日期，待報名且繳款完成後，由課程承辦人確認收款無誤後，將開通帳號以及提供觀看連結予學員，並享有付費期間內無限次數觀看權限。

※為確保學員的上課權益,報名後若未收到任何回覆,敬請主動詢問是否完成報名。

※數位課程同一帳號僅限本人使用,不得將參加課程活動之權利轉讓予他人。

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