奈微米科技是現代產業跨領域整合的關鍵技術,本課程主要分奈米結構材料製程與微機電系統技術兩部分介紹,包括奈微米材料,矽半導體製程與非矽加工製造技術,製程整合,與其在微流體晶片、感測器與能源領域等應用的相關知識。
奈微米科技涵蓋奈米結構材料與微系統技術,從材料結構, 矽基半導體製程與非矽加工製造,製程整合, 與元件系統等基礎與應用相關知識,是跨領域整合的關鍵技術,本課程皆著重在微流體晶片、感測器與能源領域應用介紹,將有助於學員瞭解奈微米科技在現代產業的重要性,作為相關從業人員的入門知識與專業提昇。
傳統製造業、電子光電產業、微流體晶片、感測器與能源等微系統科技相關從業人員及有興趣者。
鍾震桂 講師
【現任】國立成功大學機械工程學系教授
【學歷】國立清華大學材料科學與工程博士
【經歷】
Day2微機電系統技術與應用
時間 |
課程大綱 |
微機電系統技術與應用 7月14日(五) 9:30~16:30 6小時 |
1.微系統技術發展 2.微奈米機電系統產品與應用 3.微感測器技術 4.微致動器技術 5.矽基礎半導體製程 6.體型&面型&CMOS微加工技術 7.非矽微加工製造技術 8.雷射微加工技術 9.LIGA/LIGA-like整合製程 10.微流體晶片應用技術 11.摩擦發電機應用技術 12.範例與結論 |
課程費用 |
價格 |
全系列課程(單元1+單元2) |
$6,500/人 |
全系列課程10天前報名及兩人團報優惠價 |
$6,000/人 |
單元1奈米結構材料、製程與應用 |
$3,500/人 |
單元2微機電系統技術與應用 |
$3,500/人 |