課程代號:2324060001  

高純度SiC粉體先進製程與應用研習班

學員完訓能夠瞭解: 1.碳化矽粉體(SiC)的基本特性、製備方法、在不同應用領域中的重要性和潛在價值。 2.SiC元件製造的流程及品質管控要點。

課程型態/
實體課程
上課地址/
中興院區
時  數/
24 小時
起迄日期/
2024/10/17 ~ 2024/10/31
聯絡資訊/
趙小嬅   03-5732084
報名截止
課程介紹

碳化矽(Silicon Carbide,簡稱SiC)是一種由碳和矽兩種元素組成的化合物半導體材料,具備寬能帶(Energy Gap3.2 eV)、熱導率高、耐擊穿電壓高、電子漂移速率高等特點。在電動車、AI、能源、6G通訊與生醫等具未來性的產業中,化合物半導體扮演著關鍵角色。

本課程內容從化合物半導體產業鏈的發展分為基板材料、磊晶、元件製造與終端應用四個構面。從基礎理論到實踐應用,全面解析SiC(碳化矽粉體)的特性、製備技術以及長晶過程中的關鍵技術與挑戰,以提升學員在高純度SiC粉體製程及應用方面的知識和實踐能力。

課程目標

學員完訓能夠瞭解:

  1. 碳化矽粉體(SiC)的基本特性、製備方法、在不同應用領域中的重要性和潛在價值。
  2.  SiC元件製造的流程及品質管控要點。

課程特色

  1. 專業師資:工研院領域專家帶領學習。
  2. 技術發展與前景:課程結合實際應用案例進行討論和分析。

課程對象

陶瓷、材料化工、電子、光電產業的研發、材料、製程人員。

課程大綱

 

 

日期

模組

課程

單元

時數

講師

1

10/17

8:30-12:30

SiC基板材料製備

SiC基板材料概論與終端應用

1.SiC基板材料的種類與特性

2.SiC材料在高溫、高頻及高功率應用中的優勢

邱國創組長

2

10/17

13:30-17:30

高純度SiC粉體製備技術

1.SiC基板材料的製程與加工

2. 製備技術及品質控制方法。

邱國創組長

3

10/24

8:30-12:30

 

SiC磊晶層製備

SiC粉體品質分析

成分組成、晶體形貌、粒徑分布、堆積密度、流動性以及純度等分析與評估

邱國創組長

4

10/24

13:30-17:30

SiC晶體製備

1. SiC磊晶的種類與特性

2.磊晶層製備技術:PVTLPEHTCVD

邱國創組長

5

10/31

8:30-12:30

SiC元件製造與製程管控

SiC晶圓製程與加工

1. SiC元件的種類與特性

2. SiC元件的製程與加工

邱國創組長

6

10/31

13:30-17:30

SiC晶圓製程控制與品質管理

1.製程參數的控制方法

2.6SiC單晶應力模擬

邱國創組長

 

 

 

 

時數共計

24

 

 

備註:本課程保留議程異之權利

先備知識

材料、化工、電子、光電等相關科系基礎知識。

講師簡介

工研院先進陶瓷與無機半導體材料研究組講師群

開課資訊

n   主辦單位:工研院產業學院新竹學習中心(光復院區)

n   舉辦地點:工研院中興院區

n   舉辦日期:1131017~310830 1730,共計24小時

方案

課程

一般報名

每人(NT$)

早鳥(9/26)()

每人(NT$)

3()以上團報

每人(NT$)

1

全系列 24小時課程

21,600

19,500

18,400

2

A. SiC基板材料概論與終端應用

3,600

3,300

3,100

3

B. 高純度SiC粉體製備技術

3,600

3,300

3,100

4

C. SiC粉體品質分析

3,600

3,300

3,100

5

D. SiC晶體製備

3,600

3,300

3,100

6

E. SiC晶圓製程與加工

3,600

3,300

3,100

7

F. SiC晶圓製程控制與品質管理

3,600

3,300

3,100

培訓證書發放準則

1.        參加全程課程,出席率達80%,將取得工研院產業學院核發「高純度SiC粉體先進製程與應用研習班」培訓證書。

2.        學員亦可選擇參加單一課程,完課後將取得工研院產業學院核發單堂課之培訓證書。

貼心提醒

1.        為確保您的上課權益,報名後若未收到任何回覆,敬請來電洽詢方完成報名。

2.        因課前教材、講義及餐點之準備及需為您進行退款相關事宜,若您不克前來,請於開課三日前告知,以利行政作業進行並共同愛護資源。

3.        若原報名者因故不克參加,但欲更換他人參加,敬請於開課前二日通知。

4.        學員於開訓前退訓者,將依其申請退還所繳上課費用90%,另於培訓期間若因個人因素無法繼續參與課程,將依上課未逾總時數1/3,退還所繳上課費用之50%,上課逾總時數1/3,則不退費。

5.        課程主辦單位保留是否接受報名之權利。

6.        為尊重講師之智慧財產權益,無法提供課程講義電子檔。

7.        如遇不可抗拒之因素,課程主辦單位保留修訂課程日期、更換講師、取消課程的權利。