114/4/23(三)
至
4/24(四)
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一、無塵室建構設計規劃
l 從實務需求探討硬體設施需求
l 從製程探討設備需求,動線規劃及驗收
l 案例探討/分組演練(1)
二、無塵室相關法規規範
l ISO 14644, ISO 14698, ISO 16232, ISO 14064-1, ISO 8573, ASTM E595重要條文說明
l 案例探討/分組演練(2)
三、無塵室維護、監控、檢測及碳盤查項目計算
l 科學化的計量
l 數據實施監控,訂定耗材更換頻率
l 碳盤查項目及計算方式
l 案例探討/分組演練(3)
四、無塵室內部/外部稽核關鍵要素及注意事項
l 針對無塵室製程環境稽核概論說明
l Check list列表練習
l 案例探討/分組演練(4)
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12小時
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