本系列課程期望讓學員在短時間內了解半導體奈米元件的物理機制及基本操作原理,如金氧半場效電晶體(MOSFET)。接下來由淺入深的介紹半導體製程的每一個製程模組,講解如何有系統的將每一個製程整合,製造出半導體元件。最後再介紹平面顯示器產業與未來半導體元件的趨勢與應用,期望讓學員對半導體元件及產業有深刻的了解。
本系列課程從半導體元件物理基礎介紹,再輔以市場應用與趨勢的角度認識半導體,此外,本半導體製程課程,內容詳細介紹實際工廠端的製程,可讓學員對於半導體產業有具體的了解,課程後半段並規劃將學員分為兩組,並可實際進行半導體元件電性量測實習操作,以及參觀無塵室的半導體製程設備。
課程名稱 | 課程大綱 | 教學方式 |
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07/18(二) 半導體製程技術 |
1. 元件物理與製程 2. 薄膜沉積技術 3. 微影技術 4. 蝕刻技術 5. 離子佈植技術 6. 氧化與熱製程技術 7. CMP與平坦化製程 8. CMOS 製程整合 |
講授法 |
07/19(三) 半導體元件物理 |
1. 載子能帶與載子濃度 2. 載子傳輸現象 3. P-N接面 4. 金屬半導體接觸 5. 金氧半場效電晶體(MOSFET) 6. MOSFET短通道效應 7. SOI 元件 8. 奈米元件 |
講授法 |
07/19(三) 實習操作製程設備參觀 |
1. 半導體元件電性量測實習操作 2. 半導體製程設備參觀介紹 |
分組參觀 |
※主辦單位保留變更課程內容與講師之權利
張鼎張講師 | |
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現職:國立中山大學物理系特聘教授 學歷:國立交通大學電子所博士 經歷:國家奈米元件實驗室研究員 專長:薄膜電晶體(TFT)平面顯示器、前瞻電晶體元件、記憶體元件 |
榮譽事蹟: 1. 經濟部第四屆『國家產業創新獎』,2015 2. 經濟部第八屆『奈米產業科技菁英獎』,2012 3. 教育部『產學合作獎』,2003 4. 中國工程師學會『傑出工程教授獎』,2015 5. 第三屆『有庠科技講座』,2005 |
課程費用 | 價格 |
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課程原價 | $9,000 |
10天前報名或同一公司二人報名優惠價 | $8,000 |
※貴單位如有包班需求,請洽蔡小姐,07-3367833#22 E-mail : itrikhs@itri.org.tw
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