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~ 半導體課程新型態人才培訓 ~

【半導體黃光技術實作班】

運用XR技術 在教室學習黃光機實作

隨著半導體技術持續演進，黃光技術成為晶片製造的關鍵環節之一，並朝向更高解析度與更精密製程發展。目前雖EUV技術已廣泛應用於 7nm 及以下製程，但DUV（深紫外光）光刻仍在成熟製程（如 28nm 及以上）中扮演重要角色，並應用於車用晶片、功率元件與特殊應用 IC，因此產業對於人才的需求仍具有高度需求。

但人才的培育卻碰到諸多瓶頸，黃光機操作涉及精密光學、機械、電子與軟體控制技術，學習門檻高，新進工程師需具備半導體製程、光學原理及設備維護知識，培訓時間較長。同時高階 DUV 光刻機價格昂貴，精密度極高，任何錯誤操作（如不當參數設定、光罩對準錯誤）都可能影響良率，甚至導致設備損壞，加上機台使用時數有限，難以頻繁提供實機操作機會，雖然部分培訓內容可以透過模擬軟體學習，但與實際操作仍有落差，導致學員缺乏實戰經驗。

本課程應運而生，由陳老師將帶領大家學習黃光的理論知識及關鍵技術，搭配 XR 技術實現在教室就能操作虛擬黃光機台，進行實作演練！因XR軟體設備限制，本班採實作教學，人數上限16人。

1. 建立學員對半導體黃光製程的整體認知，理解其在晶圓製造中的關鍵角色與應用場域。

2. 分組操作XR虛擬黃光機台，體驗機台操作流程，強化實務技能與問題排解能力。

• 想跨入半導體產業的人員或欲轉職的在職人士。

• 先備知識：略懂半導體黃光製程基礎術語，例如Mask(光罩)、Resist(光阻劑)、Exposure(曝光)。

1. 從產業概論、製程技術到關鍵設備操作，系統性建構學員的黃光技術脈絡。

2. 學員在教室中即可模擬實際黃光機操作流程，突破昂貴設備與操作時數限制，降低學習風險。

• 雲端自學 (總計1小時，開啟帳密起~30天無限次數觀看)

• 課程大綱：

陳老師

台灣知名半導體廠 黃光工程部 主任工程師

經歷：半導體黃光工程15年資歷

專長：半導體黃光製程／薄膜工程／問題解決與分析

• 上課時間：114年9月13日星期六 共計7小時，另有數位自學課程1小時，總培訓時數為8小時

• 上課地點：工研院中興院區51館2A會議室。實際地點依上課通知為準! 

• 報名方式：線上報名

• 課程聯絡人：(03)5743996，Charleswan@itri.org.tw 萬先生

• 課程費用：

• 培訓證書：總出席率達80%，將由工業技術研究院產業學院核發培訓證書。

• 貼心提醒：

1. 課程若未如期開班，費用將全額退還。

2. 為確保您的上課權益，報名後若未收到任何回覆，敬請來電洽詢方完成報名。

3. 為配合講師時間或臨時突發事件，主辦單位有調整日期或更換講師之權利。

4. 為尊重講師之智慧財產權，恕無法提供課程講義電子檔。

5. 報名時請註明欲開立發票完整抬頭，以利開立收據；未註明者，一律開立個人抬頭，恕不接受更換發票之要求。