半導體廠、電子製造廠及太陽能廠為了推動生產自動化,工廠主機系統(Host)與設備(EQP)之間需能交換資訊與傳送控制指令。採用標準化的通訊介面,有助於整合不同廠商的設備,降低系統開發與維護的複雜度。
為建立設備通訊與自動化的共同標準,SEMI 國際半導體產業協會制定了 SECS/GEM 相關規範,規範設備與工廠主機系統之間的訊息傳輸、資料交換及設備的通訊與控制行為,使工廠自動化的建置有一致的標準依循。
SECS 相關通訊規範包括 SECS-I、HSMS 與 SECS-II。SECS-I 與 HSMS 負責訊息傳輸,前者使用 RS-232 串列通訊,後者使用 TCP/IP,通常透過乙太網路進行傳輸;SECS-II 則定義訊息的內容、資料格式及分類方式。GEM 在此基礎上,進一步規範製造設備的通訊與控制行為,包括設備狀態管理、資料收集、事件報告、警報及遠端控制等。
本課程將介紹 SECS/GEM 相關標準(SEMI E4、E5、E37 與 E30)的主要內容,並提供 SECS/GEM Driver 的使用說明。透過課程講解與實際操作,學員可了解工廠主機系統與設備之間的通訊架構及訊息交換流程,並學習運用 Driver 實現 SECS/GEM 通訊功能的方法,作為設備連線與自動化系統整合的基礎。